適用于半導(dǎo)體、光學(xué)、LED等行業(yè)的晶圓、玻璃、陶瓷板等材料的研磨過(guò)程。背面研磨時(shí)為晶圓正面提供可靠保護(hù)，防止酸堿研磨液或殘?jiān)秩胛廴揪A正面。